First Demonstration of Top-Gate Enhancement- Mode ALD In 2 O 3 FETs With High Thermal Budget of 600 ° C for DRAM Applications

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标题	First Demonstration of Top-Gate Enhancement- Mode ALD In 2 O 3 FETs With High Thermal Budget of 600 ° C for DRAM Applications
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx8/55/10701574/10634202.pdf...
DOI	10.1109/led.2024.3442729 doi
其它	期刊：IEEE Electron Device Letters 作者：Jian-Yu Lin; Zhuocheng Zhang; Zehao Lin; Chang Niu; Yizhi Zhang; et al 出版日期：2024-08-12
求助人	赫尔坤兰在 2026-09-26 19:06:58 发布自福建，悬赏 10 积分
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