Deep learning-based detection, classification, and localization of defects in semiconductor processes

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标题	Deep learning-based detection, classification, and localization of defects in semiconductor processes 相关领域计算机科学人工智能工作流程模式识别（心理学）深度学习卷积神经网络机器学习数据库
网址	https://doi.org/10.1117/1.jmm.19.2.024801
DOI	10.1117/1.jmm.19.2.024801 doi
其它	期刊：Journal of Micro/Nanolithography MEMS and MOEMS 作者：Dhruv Patel; Ravi Bonam; Assad A. Oberai 出版日期：2020-04-20
求助人	mit 在 2025-10-25 19:44:46 发布自宁夏，悬赏 20 积分
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