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![]() 微波等离子体增强化学气相沉积低温生长碳纳米管
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者:Young Chul Choi; Dong Jae Bae; Young Hee Lee; Byung Soo Lee; Gyeong-Su Park; et al 出版日期:2000-07-01 |
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