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High-Frequency and Spectrum-Clean Shear-Horizontal Acoustic Wave Resonators with AlN Overlay
AlN覆盖的高频谱净剪切水平声波谐振器
相关领域
谐振器
材料科学
虚假关系
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铌酸锂
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其它 |
期刊:Micromachines 作者:Zonglin Wu; Shuxian Wu; Feihong Bao; Jie Zou 出版日期:2022-06-29 |
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