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标题
Reinforcement in electromigration reliability of Cu interconnects by alloying of extremely dilute MnO
极稀MnO合金化增强Cu互连电迁移可靠性
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网址
https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2023.169974
DOI
10.1016/j.jallcom.2023.169974 doi
其它 期刊：Journal of Alloys and Compounds
作者：Jau–Shiung Fang; Ching‐En Lee; Yi-Lung Cheng; Giin-Shan Chen
出版日期：2023-08-01
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viper3 在 2024-03-21 15:26:43 发布自福建，悬赏 20 积分
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