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标题
Advancements in EUV photoresists for high-NA lithography
高钠光刻用EUV光刻胶的研究进展
网址
https://doi.org/10.1117/12.2686250
DOI
10.1117/12.2686250 doi
其它 期刊：International Conference on Extreme Ultraviolet Lithography 2023
作者：Aysegul Develioglu; Michaela Vockenhuber; Lidia van Lent-Protasova; Iacopo Mochi; Yasin Ekinci; et al
出版日期：2023
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宁友灵 在 2024-03-19 11:37:20 发布自北京，悬赏 20 积分
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