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Internal stress effects on the piezoelectric properties of Pb(Zr,Ti)O3 superlattice thin films grown on Si substrates
内应力对Si衬底上Pb(Zr,Ti)O3超晶格薄膜压电性能的影响
相关领域
超晶格
材料科学
锆钛酸铅
薄膜
铁电性
压电
四方晶系
复合材料
压电系数
外延
电介质
图层(电子)
结晶学
光电子学
晶体结构
纳米技术
化学
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