<title>Novel illumination system for EUVL</title>

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标题	<title>Novel illumination system for EUVL</title> 用于EUVL的新型照明系统相关领域光学弧（几何）投影（关系代数）反射器（摄影）极紫外光刻聚光镜（光学）扫描仪弧光灯计算机科学视野曲面镜物理辐照度光源几何学数学算法
网址	https://doi.org/10.1117/12.390117
DOI	10.1117/12.390117 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Hideki Komatsuda 出版日期：2000-07-21
求助人	Little Mianmian 在 2024-10-28 18:27:42 发布自浙江，悬赏 20 积分
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