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![]() 减少28HK金属栅极工艺中栅极氧化层湿法蚀刻过程中的侧切
相关领域
蚀刻(微加工)
栅氧化层
材料科学
金属浇口
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光电子学
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过程(计算)
随时间变化的栅氧化层击穿
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期刊: 作者:Chunshan Zhao; Wei Zhou; Xiaolin Xu; Yamin Cao; Yansheng Wang 出版日期:2024-03-17 |
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