Germanium surface wet-etch-reconditioning for porous lift-off and substrate reuse

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标题	Germanium surface wet-etch-reconditioning for porous lift-off and substrate reuse 锗表面湿法蚀刻修复多孔剥离和基片再利用相关领域材料科学基质（水族馆）化学机械平面化表面粗糙度图层（电子）抛光各向同性腐蚀纳米技术重新使用蚀刻（微加工）化学工程复合材料废物管理海洋学地质学工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.mssp.2023.107851
DOI	10.1016/j.mssp.2023.107851 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Alexandre Chapotot; Bouraoui Ilahi; J. Arias-Zapata; Tadeáš Hanuš; Ahmed Ayari; et al 出版日期：2023-12-01
求助人	dagongren 在 2023-11-19 17:06:42 发布自上海，悬赏 10 积分
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