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标题
Room-Temperature Direct Bonding Using Fluorine Containing Plasma Activation
含氟等离子体活化的室温直接键合
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网址
https://syndication.highwire.org/content/doi/10.1149/1.35605...
DOI
10.1149/1.3560510 doi
其它 期刊：Journal of The Electrochemical Society
作者：Chenxi Wang; Tadatomo Suga
出版日期：2011-03-19
求助人
小feng 在 2023-06-30 14:16:23 发布自福建，悬赏 10 积分
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