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标题
Design and analysis of repulsive electrostatic driven MEMS actuators
排斥静电驱动MEMS驱动器的设计与分析
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执行机构 微电子机械系统 流离失所（心理学） 静电学 梳状致动器 电压 自适应光学 数码产品 变形镜 光学（聚焦） 机制（生物学） 机械工程 物理 计算机科学 工程类 电子工程 电气工程 光学 光电子学 制作 医学 心理学 替代医学 病理 量子力学 心理治疗师
网址
http://dx.doi.org/10.1117/12.810791
DOI
10.1117/12.810791 doi
求助人
nothing 在 2025-06-19 19:39:47 发布自广东，悬赏 20 积分
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