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集成压电和电热致动器，用于高分辨率原子力显微镜
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执行机构 材料科学 压电 微电子机械系统 足迹 炸薯条 校准 显微镜 声学 光电子学 纳米技术 光学 电气工程 物理 工程类 古生物学 量子力学 复合材料 生物
网址
http://dx.doi.org/10.1016/j.mechatronics.2024.103165
AI链接 osti.govdoi.org
DOI
10.1016/j.mechatronics.2024.103165 doi
求助人
tananna 在 2025-07-12 14:00:20 发布自四川，悬赏 10 积分
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