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Highly Reproducible Nanolithography by Dynamic Plough of an Atomic-Force Microscope Tip and Thermal-Annealing Treatment
原子力显微镜尖端动态犁削和热退火处理的高再现性纳米光刻
相关领域
材料科学 纳米光刻 纳米尺度 纳米技术 退火（玻璃） 平版印刷术 光电子学 蚀刻（微加工） 原子力显微镜 光刻 各向同性腐蚀 导电原子力显微镜 异质结 沟槽 干法蚀刻 复合材料 图层（电子） 制作 替代医学 病理 医学
网址
https://doi.org/10.1109/tnano.2010.2053045
AI链接 ac.uk ac.uk ac.ukdoi.org
DOI
10.1109/tnano.2010.2053045 doi
其它 期刊：IEEE Transactions on Nanotechnology
作者：Xiaofeng Lu; Claudio Balocco; Fuhua Yang; Aimin Song
出版日期：2010-06-18
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真实的麦片 在 2025-05-15 10:32:16 发布自湖北，悬赏 10 积分
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