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 A 37-actuator polyimide deformable mirror with electrostatic actuation for adaptive optics microscopy 用于自适应光学显微镜的37个致动器具有静电致动的聚亚胺可变形镜
相关领域
聚酰亚胺
变形镜
执行机构
自适应光学
材料科学
显微镜
光学
光学显微镜
原子力显微镜
光电子学
物理
纳米技术
计算机科学
复合材料
人工智能
扫描电子显微镜
图层（电子）
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| 其它 |
期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Kaustubh Banerjee; Pouya Rajaeipour; Hans Zappe; Çağlar Ataman 出版日期：2019-05-21 |
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