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标题
Global search algorithms in an automated design of starting points for a deep-UV lithography objective
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DOI
10.1364/AO.532057 doi
其它 期刊:Applied Optics
作者:Nenad Zoric; Yunfeng Nie; Simon Thibault; Radomir Prodanovic; Lijo Thomas
出版日期:2024
求助人
hwj 在 2026-04-24 10:22:41 发布自吉林,悬赏 10 积分
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