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标题
Effects of radio frequency bias frequency and radio frequency bias pulsing on SiO2 feature etching in inductively coupled fluorocarbon plasmas
网址
http://dx.doi.org/10.1116/1.591286
DOI
10.1116/1.591286 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena
作者：M. Schaepkens; G. S. Oehrlein; J. M. Cook
出版日期：2000-03-01
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cyyan 在 2026-09-21 15:56:35 发布自上海，悬赏 10 积分
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