Some Insights into Atomic Layer Deposition of MoNx Using Mo(CO)6 and NH3 and Its Diffusion Barrier Application

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标题	Some Insights into Atomic Layer Deposition of MoNx Using Mo(CO)6 and NH3 and Its Diffusion Barrier Application
网址	http://dx.doi.org/10.1021/acs.chemmater.9b01578
DOI	10.1021/acs.chemmater.9b01578 doi
其它	期刊：Chemistry of Materials 作者：Tae Hyun Kim; Dip K. Nandi; Rahul Ramesh; Seung-Min Han; Bonggeun Shong; et al 出版日期：2019-09-26
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