Effects of off-axis angles of 4H-SiC substrates on properties of β-Ga2O3 films grown by low-pressure chemical vapor deposition - 科研通

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标题	Effects of off-axis angles of 4H-SiC substrates on properties of β-Ga2O3 films grown by low-pressure chemical vapor deposition
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2024.161377
DOI	10.1016/j.apsusc.2024.161377 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Jichao Hu; Xiaodong Yang; Jiaqi Meng; Yao Li; Bei Xu; et al 出版日期：2024-09-28
求助人	精明玲在 2026-07-23 11:18:57 发布自福建，悬赏 10 积分
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