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 Electron-enhanced atomic layer deposition of Ru thin films using Ru(DMBD)(CO)3 and effect of forming gas anneal |
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Michael A. Collings; Marcel Junige; Andrew S. Cavanagh; Victor Wang; Andrew C. Kummel; et al 出版日期：2023-11-01 |
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