Experimental Study on Etching Characteristics of a Spin-Etching Method

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标题	Experimental Study on Etching Characteristics of a Spin-Etching Method
网址	http://dx.doi.org/10.1109/jmems.2015.2443067
DOI	10.1109/jmems.2015.2443067 doi
其它	期刊：Journal of Microelectromechanical Systems 作者：Yongdae Kim 出版日期：2015-12-01
求助人	zwj 在 2026-09-16 22:10:41 发布自福建，悬赏 10 积分
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