A SAW Pressure Sensor Based on AlN Thin Film with a Novel Differential Structure: Balancing Sensitivity Enhancement and Temperature Decoupling - 科研通

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标题	A SAW Pressure Sensor Based on AlN Thin Film with a Novel Differential Structure: Balancing Sensitivity Enhancement and Temperature Decoupling
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx8/11040154/11040167/110404...
DOI	10.1109/edtm61175.2025.11040413 doi
其它	期刊：2025 9th IEEE Electron Devices Technology &amp; Manufacturing Conference (EDTM) 作者：Aobei Chen; Dapeng Li; Ge Gao; Chun Hu; Dezhi Zheng 出版日期：2025-07-01
求助人	李旭在 2026-02-03 21:12:09 发布自上海，悬赏 10 积分
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