A hybrid kernel-CNN approach for SEM-contour-based etch bias modeling in advanced semiconductor nodes

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标题	A hybrid kernel-CNN approach for SEM-contour-based etch bias modeling in advanced semiconductor nodes
网址	https://doi.org/10.1117/12.3078238
DOI	10.1117/12.3078238 doi
其它	期刊：Second International Conference on Optical Communication and Optoelectronic Technology (OCOT 2025) 作者：Cheng Qian; Chaoxin Feng; Ruoran Jia; Klimis Ntalianis 出版日期：2025
求助人	清风在 2026-03-02 14:39:34 发布自山东，悬赏 20 积分
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