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标题
Corrosion of Aluminum Interconnect Passivated with Polyimide or Silicon Nitride
相关领域
钝化 材料科学 腐蚀 氮化硅 聚酰亚胺 铝 图层（电子） 互连 电介质 氮化物 复合材料 光电子学 冶金 计算机网络 计算机科学
网址
https://doi.org/10.1557/proc-153-205
DOI
10.1557/proc-153-205 doi
其它 期刊：MRS Proceedings
作者：R. B. Comizzoli; R. L. Opila; Y. H. Wong
出版日期：1989-01-01
求助人
556 在 2026-01-28 15:51:13 发布自陕西，悬赏 10 积分
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