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标题
Diffraction grating microfabrication by ICP technique with two-layer lift-off processing in single crystal diamond
单晶金刚石双层剥离ICP微加工衍射光栅
相关领域
微加工 材料科学 钻石 衍射光栅 栅栏 衍射 图层（电子） Lift（数据挖掘） 光学 光电子学 计算机科学 纳米技术 制作 复合材料 物理 医学 替代医学 病理 数据挖掘
网址
https://doi.org/10.1117/12.3000453
DOI
10.1117/12.3000453 doi
其它 期刊：
作者：Yuhang Zhao; Zhiqing Song; Yan Liang; Tianfei Zhu; Shenli Jia; et al
出版日期：2024-01-26
求助人
uscd_del 在 2025-12-04 19:47:42 发布自北京，悬赏 20 积分
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