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![]() 功率器件用高介电常数Ta2O5氧化物在金刚石上的集成
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期刊:Applied Physics Letters 作者:Shaoheng Cheng; Liwen Sang; Meiyong Liao; Jiangwei Liu; Masataka Imura; et al 出版日期:2012-12-03 |
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