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 Resist formulation effects on contrast and top-loss as measured by 3D-SEM metrology 通过3D-SEM计量测量的抗蚀剂配方对对比度和顶部损失的影响
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期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Andrew R. Eckert; Carl Seiler; Robert L. Brainard 出版日期：2004-05-20 |
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