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标题
Enhancing wafer productivity through increased repetition rate to 6.75khz with gt80a as ArF immersion light source
使用gt80 a作为ArF沉浸光源，通过将重复率提高到6.75 GHz来提高芯片生产率
相关领域
薄脆饼 沉浸式（数学） 生产力 材料科学 光源 光电子学 重复（修辞手法） 计算机科学 光学 物理 经济 数学 语言学 哲学 宏观经济学 纯数学
网址
https://doi.org/10.1117/12.3009787
DOI
10.1117/12.3009787 doi
其它 期刊：
作者：Natsuhiko Kouno; Katsuhiko Wakana; T. Ohta; Takashi Saitou
出版日期：2024-02-23
求助人
勤恳的仰 在 2025-07-13 21:29:42 发布自广东，悬赏 20 积分
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