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Piezoelectric Response of Polycrystalline Silicon‐Doped Hafnium Oxide Thin Films Determined by Rapid Temperature Cycles 相关领域
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期刊:Advanced Electronic Materials 作者:Clemens Mart; Thomas Kämpfe; Raik Hoffmann; Sophia Eßlinger; S. Kirbach; et al 出版日期:2020-01-29 |
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