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标题
Low-loss 193nm anti_reflection coatings
低损耗193nm减反射涂层
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网址
https://doi.org/10.7498/aps.57.1946
DOI
10.7498/aps.57.1946 doi
其它 期刊：Acta Physica Sinica
作者：Shang Shu-Zhen; Jianda Shao; Fan Zheng-Xiu
出版日期：2008-01-01
求助人
sshx 在 2025-10-28 07:39:07 发布自海南，悬赏 10 积分
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