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 Analysis and correction of the distortion error in a DMD based scanning lithography system 基于DMD的扫描光刻系统畸变误差分析与校正
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期刊：Optics Communications 作者：Qiankun Li; Yao Xiao; Hua Liu; Haolin Zhang; Jia Xu; et al 出版日期：2018-10-26 |
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