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Analysis and correction of the distortion error in a DMD based scanning lithography system
基于DMD的扫描光刻系统畸变误差分析与校正
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网址
DOI
10.1016/j.optcom.2018.10.042 doi
其它 期刊:Optics Communications
作者:Qiankun Li; Yao Xiao; Hua Liu; Haolin Zhang; Jia Xu; et al
出版日期:2018-10-26
求助人
虚拟的尔烟 在 2025-07-31 16:11:38 发布自广东,悬赏 10 积分
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