Experimental verification of different slip generation models for 300 mm wafers processed in a fast ramp vertical furnace

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标题	Experimental verification of different slip generation models for 300 mm wafers processed in a fast ramp vertical furnace
网址	http://dx.doi.org/10.1016/s0167-9317(99)00156-2
DOI	10.1016/s0167-9317(99)00156-2 doi
其它	期刊：Microelectronic Engineering 作者：G. Ritter; P. McHugh; G. Wilson; L. Funk; P. Zaumseil 出版日期：1999-07-01
求助人	宇豪在 2026-07-22 23:24:47 发布自重庆，悬赏 10 积分
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