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标题
Moiré-Based Nanoprecision Bonding Alignment System for Hybrid Integration
用于杂化集成的基于Moir é的纳米精密键合排列系统
相关领域
薄脆饼 云纹 材料科学 叠加原理 晶片键合 不透明度 光电子学 光学 干涉测量 计算机科学 电子工程 工程类 物理 量子力学
网址
DOI
10.1109/icta53157.2021.9661731 doi
其它 期刊:2021 IEEE International Conference on Integrated Circuits, Technologies and Applications (ICTA)
作者:Xiaoyun Qi; Han Yan; Shicheng Zhou; Qiushi Kang; Chenxi Wang
出版日期:2021-11-24
求助人
小猪佩琪 在 2024-02-02 16:34:16 发布自安徽,悬赏 10 积分
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