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Vertically Stacked Nanosheet Number Optimization Strategy for Complementary FET (CFET) Scaling Beyond 2 nm
2 nm以上互补FET(CFET)尺度的垂直堆叠纳米片数优化策略
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期刊:IEEE Transactions on Electron Devices 作者:Shixin Li; Yanna Luo; Hai Xu; Jiali Huo; Zengfeng Di; et al 出版日期:2023-01-01 |
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