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 RF magnetron sputtering of Ga2 O3 thin films: Analysis of oxygen flow rate impact on stoichiometry, structural, optical characteristics, and energy band alignments 相关领域
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期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Mandira Biswas; Dariskhem Pyngrope; Shiv Kumar; Shubhankar Majumdar; Ankush Bag 出版日期：2023-11-01 |
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