Acid diffusion detection in chemically amplified photoresists

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标题	Acid diffusion detection in chemically amplified photoresists 相关领域双层平版印刷术纳米尺度材料科学纳米技术化学图层（电子）扩散横向扩散膜化学工程扩散层微图形化高分子化学分子扩散聚合物扩散阻挡层分析化学（期刊）光电子学抵抗光刻胶
网址	https://doi.org/10.1117/12.3092942
DOI	10.1117/12.3092942 doi
其它	期刊：作者：Yi Fan Shen; Haofan Ji; Runfeng Xu; Jiahui Liu; Wentao Xu; et al 出版日期：2025-12-03
求助人	Richard 在 2026-04-27 04:45:23 发布自上海，悬赏 20 积分
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