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 A method of performance enhancement for piezoresistive pressure sensors through diaphragm size design 一种通过膜片尺寸设计提高压阻式压力传感器性能的方法
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期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Xiaotian Tang; Ting Li; Haiping Shang; Xingxing Wan; Weibing Wang 出版日期：2022-09-02 |
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