Design of a multi-physics coupling MEMS pressure sensor

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标题	Design of a multi-physics coupling MEMS pressure sensor 相关领域材料科学压力传感器制作抛光光电子学法布里-珀罗干涉仪蚀刻（微加工）薄脆饼深反应离子刻蚀压力测量微电子机械系统联轴节（管道）硅振膜（声学）压电光学反应离子刻蚀复合材料图层（电子）机械工程电气工程工程类扬声器波长物理病理医学替代医学
网址	http://dx.doi.org/10.1088/1742-6596/2740/1/012045
DOI	10.1088/1742-6596/2740/1/012045 doi
其它	期刊：Journal of Physics Conference Series 作者：Jing Sun; Guodong Zhang; Yulong Zhao 出版日期：2024-04-01
求助人	ZHANGLinlin 在 2026-01-05 08:09:23 发布自云南，悬赏 10 积分
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