Comparison of the sputter rates of oxide films relative to the sputter rate of SiOx

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标题	Comparison of the sputter rates of oxide films relative to the sputter rate of SiOx 氧化膜溅射速率与SiOx溅射速率的比较相关领域溅射无定形固体材料科学 X射线光电子能谱锐钛矿分析化学（期刊）氧化物薄膜溅射沉积化学纳米技术化学工程冶金结晶学光催化生物化学工程类催化作用色谱法
网址	https://pubs.aip.org/avs/jva/article-abstract/28/5/1060/9378...
DOI	10.1116/1.3456123 doi
求助人	cxy3311 在 2025-12-03 11:37:52 发布自江苏，悬赏 10 积分
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