Controllable synthesis of core-shell SiO2@CeO2 composite abrasives for chemical mechanical polishing of EMC-Si-Cu multi-heterointerfaces

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标题	Controllable synthesis of core-shell SiO2@CeO2 composite abrasives for chemical mechanical polishing of EMC-Si-Cu multi-heterointerfaces
网址	https://doi.org/10.1016/j.matchemphys.2025.130509
DOI	10.1016/j.matchemphys.2025.130509 doi
其它	期刊：Materials Chemistry and Physics 作者：Jiale Zhang; Xiaohu Qu; Jianhang Yin; Ning Wang 出版日期：2025
求助人	W_ 在 2026-01-15 13:53:21 发布自北京，悬赏 10 积分
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