Extreme ultraviolet (EUV) source and ultra-high vacuum chamber for studying EUV-induced processes

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标题	Extreme ultraviolet (EUV) source and ultra-high vacuum chamber for studying EUV-induced processes 极紫外源和超高真空室研究极紫外诱导过程相关领域极紫外光刻极端紫外线等离子体光学辐射真空室材料科学紫外线辐射平版印刷术物理紫外线激光器化学核物理学复合材料放射化学
网址	https://doi.org/10.1088/0963-0252/24/3/035003
DOI	10.1088/0963-0252/24/3/035003 doi
其它	期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：A. A. Dolgov; O. F. Yakushev; A. A. Abrikosov; E. P. Snegirev; V. M. Krivtsun; et al 出版日期：2015-04-29
求助人	宇文天思在 2024-05-21 00:57:27 发布自北京，悬赏 10 积分
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