氮化鋁矽薄膜的合成及氧電漿處理

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标题	[高分] 学位论文氮化鋁矽薄膜的合成及氧電漿處理
网址	https://www.airitilibrary.com/Article/Detail/U0028-280720102...
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
其它	作者：鄭漢源(Han-Yuan Cheng)；英文题目：The Synthesis and Oxygen Plasma Treatment of AlSiN Thin film 其他相关信息：國立虎尾科技大學/工程學院/材料科學與綠色能源工程研究所/碩士(2010年)
求助人	uss 在 2024-04-27 03:02:57 发布自俄罗斯，悬赏 90 积分
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