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标题
Electric field reversals resulting from voltage waveform tailoring in Ar/O2 capacitively coupled plasmas sustained in asymmetric systems
非对称系统中Ar/O2电容耦合等离子体电压波形剪裁引起的电场反转
相关领域
电场 电子 原子物理学 等离子体 离子 材料科学 化学 物理 量子力学 有机化学
网址
DOI
10.1088/1361-6595/ac14a7 doi
其它 期刊:Plasma Sources Science and Technology
作者:Florian Krüger; Hyunjae Lee; Sang Ki Nam; Mark J. Kushner
出版日期:2021-08-01
求助人
byyyy 在 2024-03-28 16:44:55 发布自美国,悬赏 10 积分
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