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Simultaneous H 2 O:O 2 Co‐Reactant Pulsing for Functional Property Control of Atomic Layer Deposited ZnO, TiO 2 , and Al 2 O 3 Thin Films |
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期刊:Advanced Materials Interfaces 作者:Ramin Ghiyasi; Maarit Karppinen 出版日期:2026-02-19 |
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(2025-6-4)