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 Research Into the LSTM Neural Network-Based Crystal Growth Process Model Identification 基于LSTM神经网络的晶体生长过程模型辨识研究
相关领域
人工神经网络
支持向量机
过程（计算）
领域（数学）
计算机科学
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期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 作者：Jing Zhang; Qin-Wei Tang; Ding Liu 出版日期：2019-03-21 |
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