Defect Reduction Paths in SiC Epitaxy - 科研通

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标题	Defect Reduction Paths in SiC Epitaxy
网址	https://doi.org/10.1557/opl.2014.579
DOI	10.1557/opl.2014.579 doi
其它	期刊：MRS Proceedings 作者：J. Zhang; D.M. Hansen; V.M. Torres; B. Thomas; G. Chung; et al 出版日期：2014
求助人	王德建在 2026-05-09 15:50:37 发布自山西，悬赏 10 积分
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