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 Design and Control of a Piezo-Driven z-θx-θy Parallel Nanopositioning Stage With Two-Stage Rhombic Amplification Structure 相关领域
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期刊：Journal of Mechanisms and Robotics 作者：Shengdian Zhang; Yuguo Cui; Yiling Yang; Keke Dong; Qifang Xie 出版日期：2025-04-18 |
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