Cyclone-type vaporizer for mass delivery of atomic layer deposition precursors: Simulation and experimental studies

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标题	[高分] Cyclone-type vaporizer for mass delivery of atomic layer deposition precursors: Simulation and experimental studies
网址	https://doi.org/10.1116/6.0004013
DOI	10.1116/6.0004013 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Seung-Ho Seo; Donggeon Shin; Cha-Hee Kim; K. Jeong; Y. P. Lee; et al 出版日期：2024-12-12
求助人	陈平安在 2026-08-24 16:13:38 发布自河南，悬赏 50 积分
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