A review on the development of ceria for chemical mechanical polishing

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标题	A review on the development of ceria for chemical mechanical polishing 化学机械抛光用氧化铈的研究进展相关领域抛光化学机械平面化冶金材料科学化学工程工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.powtec.2024.119989
DOI	10.1016/j.powtec.2024.119989 doi
其它	期刊：Powder Technology 作者：Jiahui Ma; Ning Xu; Jie Cheng; Yongping Pu 出版日期：2024-06-12
求助人	Guyong 在 2025-10-13 23:52:28 发布自广东，悬赏 10 积分
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