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标题
Comparative Study on the Structural and Electrical Properties of Low-bftextitk SiOC(-H) Films Deposited by Using Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
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材料科学 化学气相沉积 等离子体 沉积（地质） 等离子体增强化学气相沉积 化学工程 光电子学 纳米技术 复合材料 物理 沉积物 量子力学 生物 工程类 古生物学
网址
https://doi.org/10.3938/jkps.50.1809
DOI
10.3938/jkps.50.1809 doi
其它 期刊：Journal of the Korean Physical Society
作者：Anvar Zakirov; R. Navamathavan; Yong Jun Jang; An Soo Jung; Kwang-Man Lee; et al
出版日期：2007-06-15
求助人
Akim 在 2025-10-29 12:52:54 发布自重庆，悬赏 10 积分
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